云南时时彩助手:合金膜的溅射沉积方法

来源:真空技术网(云南时时彩开奖号码 www.r4fmw.cn)真空技术网整理 作者:真空技术网

云南时时彩开奖号码 www.r4fmw.cn   为使溅射系统所用靶的数量减少,尽量用一个靶就能溅射沉积制取符合成分及性能要求的合金薄膜,可以采用合金靶、复合镶嵌靶、以及采用多靶溅射等。

  一般说来,在放电稳定状态下,按照靶的成分,各种构成原子分别受到溅射作用,溅射镀膜比真空蒸镀和离子镀的一个优越之处在于:膜层的组分和靶的组分差别较小,而且镀层组分稳定。不过,在有些情况下,由于不同组成元素的选择溅射现象、膜层的反溅射率以及附着力不同,会引起膜层和靶的成分有较大的差别。使用这种合金靶,为了制取确定组分的膜,除了根据实验配制特定配比的靶并尽量降低靶的温度之外,还要尽可以降低基片温度以便减少附着率的差别,并选择合适的工艺条件尽量减少对膜层的反溅射作用。

  在有些情况下,不易制备大面积的均匀合金靶、化合物靶,这时可以采用由单元素组成的复合镶嵌靶,靶表面的构成如图1所示。其中图d所示的扇形镶嵌结构效果最好,易于控制膜的成分,重复性也好。从原理上讲,不仅二元合金,三元、四元等合金膜都可以用这种方法制取。

合金膜的溅射沉积方法

图1 各种不同结构的复合靶

(a) 方块镶嵌靶;(b) 圆块镶嵌靶;(c) 小方块镶嵌靶;(d) 扇形镶嵌靶

  为在溅射膜中做出相应的成分分布,可采用如图2所示的镶嵌靶材。图中是在一块Ti基体靶材的刻蚀区上钻孔镶嵌Al材料的复合靶,用来制取Ti Al N合金膜或化合物膜。由图中可以看出,在基片的不同位置上,膜成分是不同的,Al材料的镶嵌位置和数量对应着确定的合金成分,因此用这种方法制取各种成分的合金或化合物膜是十分方便的。

合金膜的溅射沉积方法

图2 Ti-Al镶嵌复合靶

  多靶溅射的结构如图3所示。使基片在两个以上靶的上方转动,控制每种膜的沉积厚度为一个或几个原子层,轮翻沉积,这样就能制取化合物膜。例如,有人使用InSb和GaSb靶,制得了In1-xGax Sb单晶膜。虽然这种装置复杂一些,但是通过控制基片的转动速度和改变各个靶上所加的电压,可以得到任意组分的膜;按照镀膜的时间,控制这些参数,可以在膜厚的方向上任意改变膜的组分,而且能获得超晶格结构。

合金膜的溅射沉积方法

图3 多靶溅射结构示意图

  当要求合金膜各成分之间相差很大时,一般要采用辅助阴极法。主阴极靶由合金的主要成分制成,辅助阴极靶由合金的添加成分制成。对各个靶同时进行溅射,以形成合金膜。通过调节辅助阴极靶的电流,可以任意改变合金膜中添加成分的数量。

  合金膜的溅射沉积方法为真空技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。

  //www.r4fmw.cn/application/sputter-coating/057177.html

  与 真空溅射镀膜 溅射沉积 相关的文章请阅读:

  真空溅射镀膜//www.r4fmw.cn/application/sputter-coating/

  • 弘扬“上海精神” 构建命运共同体 2018-11-03
  • 证监会通报4宗新三板案件 数量接近2017年全年水平 2018-09-02
  • 全国人大相关负责人就“人大监督工作”答问 2018-08-21
  • 你这个【炒】啊【炒】的,还缺少一个【炒人】,而【炒人气】你听说过没有。。。?[福尔摩斯] 2018-08-21
  • 2016全国创新社会治理典型案例颁奖典礼暨经验交流会 2018-08-21
  • 万科养老业务进入第二阶段,服务取代产品成为中心 2018-08-19
  • 回复@老老保老张工:各级计委啊!虽然有时候也征求企业的意见,但仅仅是作为制订计划的参考,权重微乎其微…… 2018-08-18
  • 609| 926| 561| 144| 495| 788| 353| 309| 373| 95|